SUSS MicroTec推出面向LED市场的专用光刻系统

SUSS MicroTec，全球知名的半导体行业及相关设备和工艺解决方案供应商，推出新一代MA100e光刻机，专用于高亮度发光二极管(HB-LEDs)生产。MA100e基于SUSS MicroTec光刻机经典设计，具有最大至4英寸的载片能力，每小时产量可达145片，业界领先。
　　电视机、显示器等对LED背光的需求急剧增长，LED设备生产商必须尽力满足这一市场增长需要。LED行业对成本很敏感，所以SUSS MicroTec设计的MA100e Gen2自动光刻机在成本控制方面极具竞争力。设备配置的高照度光路和预对准系统大大缩短作业时间，功能上接近式光刻分辨率可达2.5um，极大提高了产率和成本效率。MA100e Gen2提供卓越的工艺延展性，使用户能将新的芯片设计快速投入市场。
　　SUSS MicroTec总裁兼首席执行官Frank Averdung先生指出：“我们清楚地认识到尖端高亮度发光二极管技术日益增长的需求，并且看到LED业界为降低成本而开始向高度自动化方向发展。SUSS MicroTec开发的新一代的MA100e正是专为LED生产设计的高效率全自动光刻机，可以帮助我们的用户降低每流明成本，提高生产效率。”