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[电源技术] PIC实现激光打标设备测控系统的研究与设计

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admin 发表于 2014-4-16 12:19:21 | 显示全部楼层 |阅读模式

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引 言

      激光是一种与普通光源截然不同的相干光源,由于具有高方向性、高单色性和高能量的特点,自20世纪60年代初出现以来,就备受关注。激光打标系统包括激光打标机、工作台和外部水冷系统3大部分。
        激光打标机由控制柜和激光打标头组成,并通过系统控制线相连;控制柜包括激光电源RF、射频驱动器、控制计算机、显示器、主控制板和激光冷却系统。当今激光光刻系统市场,YAG激光打标机在激光标刻系统中占据着绝对统治地位,而YAG激光器都是以氪灯或氙灯来泵浦的。性能良好,工作稳定的激光冷却系统对于YAG激光器尤为重要。
        2系统结构原理

      冷却系统中冷却的对象是氪灯,被安置在冷却腔体内,该器件价格昂贵,占设备成本的比例很高。不完善的冷却系统设计时常会使系统工作不稳定,系统时常出现冷却腔体温度过高,甚至出现爆灯现象。冷却系统的关键是使其在冷却液的循环流动下使其工作在稳定的范围内。系统原理框图如图1所示。
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