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微型RFCO2激光电源
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微型RFCO2激光电源
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管理员
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电源技术
2014-4-16 11:19:29
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微型
RF
CO2激光
电源
Micro-
Power
Supply of CO2 Laser
摘要:文章介绍了当前RFCO2激光器现状与发展趋势。详细介绍了输出激光
15
W所需160W的RF电源。主要内容包括:技术要求、设计方法、原理框图、原理电路、工作原理、工作过程。该RF电源由振荡器、推挽放大器及调制器组成。具有连续输出和脉冲输出两种方式,连续工作频率为
40
MHz,脉冲工作调制频率为0~
100
kHz连续可调,电源体积仅为激光头的1/4,电源质量为0.2kg,λ/4波长传输线0.1kg。整个电源小巧紧凑、成本低,便于装配、调试与维修。
关键词:二氧化碳激光器射频电源振荡器放大器调制器阻抗匹配
1引言
自1973年第一台射频(RF)波导激光器问世至今已26年多。最初是将线圈绕在波导上,实现了RF激励波导激光器的发光。它首次显示了低电压激励的优越性。那时,还有许多不完善的地方。存在的主要缺点是:放电不均匀,耦合效率差、线圈
电感
太大,限制RF频率的提高,只能在几MHz以下工作等。
尽管已有26年多的研制、使用历史,但当前它仍处于发展与改进阶段。其总的研制方向是:降低成本、增长寿命、提高输出
功率
和效率、减小体积和质量,改进可靠性,提高各项性能指标,以适应各种用途的需要。
RFCO2激光器工作频率按ISM规定为27~40MHz;其主要分类如下所述:
(1)按输出方式分
1)连续输出;
2)脉冲输出——调制频率高达1MHz;
3)Q
开关
输出——电光调Q与声光调Q。
(2)按谐振腔的工作分
1)波导腔——孔径D=1~3mm;
2)自由空间腔——孔径D=4~6mm。
(3)按激励极性分
1)单相;
2)反相。
(4)按腔体结构分
1)单腔;
2)多腔;
(a)折叠腔:V型——2折;Z型——3折;X型——4折。
(b)列阵腔:短肩列阵;交错列阵。
(c)积木式:并联—2腔;三角组联—3腔。
3)大面积放电
(a)平板型,(b)同心环型。
(5)按均恒电感分布方式分
1)准电感谐振技术—用于低
电容
激光头;
2)平行分布电感谐振技术—用于高电容激光
头。
(6)按谐振腔材料分
1)
陶瓷
—金属混合型;2)全陶瓷型;3)全金属型。
(7)按冷却方式分
1)空气冷却;2)水冷却。
(8)按封装方式分
1)封离型;2)流动型。
谐振腔的材料一般为:金属—
A1
。陶瓷—BeO,BN、AIN、Al2O3等。
2技术条件
用于CO2激光器的典型工作气体内含有:二氧化碳、氮、氦和氙。氮气和氦气有利于放电的均匀性。氙气对RF放电激光器的功率和效率具有积极影响。添加5%氙气可使功率提高
24
%。
通常单模结构器件,单位长度注入的连续(射频)激励功率限于2~6W/cm,转换效率为10%~20%,对激光电源的一般要求为:稳定可靠、维修方便、效率高、尺寸小、成本低。
图1RFCO2激光器电源原理框图
具体技术条件如下:
输入参数:交流输入电压
220
V;交流输入
电流
1.5A;
开关电源
输出直流电压30V;开关电源输出电流8A。
RF电源:输入功率160W;工作频率40MHz;输出波形正弦波;带宽△f±3MHz;效率70%。
调制器:脉冲调制频率0~100kHz方波连续可调;占空比连续可调;幅度调制度100%。
3原理电路
RFCO2激光电源由5部分组成[1],如图1所示。
图1 RF CO2激光器电源原理框图
图1中第1部分为整流
滤波
电路,采用全波桥式整流与电容滤波将220V交流变为
311
V平滑直流。第2部分为开关电源,将311V直流变为100kHz脉冲电流,再经电容、电感滤波后变为30V、8A直流。第3部分包括由振荡器与放大器两部分组成的RF电路(如虚线框内所示)。将输入直流经晶振变为40MHz,6W射频。再经14.28
dB
增益的放大器,放大后输出为40MHz,160W。第4部分为脉冲工作的调制器。第5部分为匹配网络。
本文将重点介绍第3部分和第4部分。电路如图2所示。振荡器由
晶体
管V2、
电感线圈
L1、
电容器
C5、C7、
电阻
R11
、
R12
、石英
晶体振荡器
G等组成。晶体振荡电路产生6W、40MHz正弦振荡波,经3:1传输线
变压器
T,推动推挽功率放大器。推挽功率放大器由晶体管
V3
、
V4
,电感L3、L2,
电阻器
R13
、
R14
、
R15
,电容器
C9
、C10和变压器T组成D类电流开关推挽放大器,两个晶体管轮流导通。为了追求小型化,提高效率是关键,因而采用D类电流开关推挽放大器是一种必然结果。这一点可由下述工作过程的分析清楚地看出。
当晶体管导通时,C极电流的基波分量为最大,回路中点电压也等于最大值Umax,在中心点处的电压平均值等于电源电压。因此(当
UCC
≈30V时),
由此得出:
Umax=(π/2)(UCC-
UCS
)+UCS(2)
C极回路两端交流电压峰值为:
UCmax=2(Umax-UCS)=π(Ucc-Ucs)(3)
基波分量振幅为:(2/π)
ICC
,因而回路产生基频电压振幅为:
UCmax=(2/π)ICCR(5)
将(3)式代入(5)式即得:
ICC=πUCmax/2R=(π2/2R)(UCC-UCS)(6)
则输出功率:
P0=U2Cmax/2R=(π2/2R)(UCC-UCS)2(7)
DC输出功率:
PDC
=ICC.UCC=(π2/2R)(UCC-UCS)UCC(8)
C极耗散功率:
PC=PDC-P0=(π2/2R)(UCC-UCS)UCS(9)
由此得出C极效率:
ηC=P0/PDC=(UCC-UCS)/UCC(10)
可见,晶体管饱和压降UCS越小、效率ηC则越高,若
UCS→0,则ηC→100%,这是D类电流开关推挽放大电路的优点,为此设计时应注意尽量选取饱和压降低的功率晶体管。
脉冲工作由图1中第4部分调制器控制。调制器的原理电路见图2,它以IC1与IC2为主体,组成幅度键控调制器,属于数字信号调幅的线性调制器[3]。连续工作时,将图2中S开关置于OFF关断位置。脉冲工作时,将S开关置于
ON
接通位置。脉冲调制的工作过程是:利用一个矩形脉冲序列的基带信号对振荡器晶体管V2的振荡幅度进行控制。由控制振荡电路的起振与停振达到调制的目的。由
电位器
RP4控制调制频率,由RP7控制脉冲宽度。所以,调制频率与调制脉宽皆可作到连续可调。
图2RF电路原理图
第5部分是阻抗匹配网络。负载阻抗匹配的目的是消除不匹配负载的
反射
。方法是引入电抗性元件(电容、电感或传输线)。人为地产生一个或数个反射波。使它与原来不匹配负载产生的反射波相互抵消。使激光器的输入阻抗与RF电源的输出阻抗互为共轭复数。匹配网络一般分为两种,一种是集总参数匹配网络,其主要形式有L型、T型、π型等[3]。这种匹配网络的主要缺点是:插入耗损大、噪声大、体积大。另一种是分布参数匹配网络,是1/4波长传输线,这就克服了上述集总参数匹配网络的缺点。它的理论关系比较简单。由传输线任一点上的电压和电流方程即可方便地导出下列1/4波长(或1/4波长奇数倍)阻抗交换方式为: Z0=(10)
式中Z1——电源输出的阻抗;
Z2——激光器输入的阻抗;
Z0——1/4传输线的特性阻抗。
1/4传输线采用
SYV
-50-3电缆。它一端接电源,另一端接激光头。该RF电源如作积木式结构应用,同时可满足输出激光30W,60W等激光器的需要。
4结束语
最后是关于激光头的准电感谐振技术。为了使输入射频沿激光器长度,电压分布均匀,加入一对电感并联在谐振腔上下电极之间。这样,由于电感负导纳的补偿作用,使激光器沿长度上的驻波比大大下降,失配角小于9°,理论计算结果电压不均匀度小于3%。
有关过流、过压、过热保护电路、显示电路、安全延时电路、自诊断等辅助电路,本文不再一一赘述。
激光器
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电源
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技术
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